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德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻

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德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻

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德国海德堡 VPG+200/VPG+400高端光刻机/专业掩膜版制作激光光刻机

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德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机

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德国海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻机

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德国海德堡 ULTRA高速掩膜版制作高端光刻机

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德国海德堡 MLA150无掩膜激光直写光刻机

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【速普仪器】硬质涂层残余应力测试仪FST1000

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速普仪器【SuPro】薄膜应力测试仪FST 5000

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半导体晶圆PL光谱测试系统

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Park NX-Hybrid WLI

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Candela8520表面缺陷检测系统

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能谱科技硅材料碳氧含量专用测定仪

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Candela®6300系列光学表面分析仪系统

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Candela®7100系列缺陷检测和分类系统

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Candela 8720 表面缺陷检测系统

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自动晶圆缺陷密度检查系统

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全自动晶圆搬运检查系统

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荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪

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荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测系统

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Candela 8420 表面缺陷检测系统

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R50电阻率测试仪

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四探针电阻测量仪

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NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统

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磁控溅射源/靶枪(1英寸/2英寸/3英寸)

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