一、仪器名称：颗粒沉降监控扫描仪
二、品牌型号：荷兰Fastmicro公司FM-PS-PFS-V01型
三、产品简介
荷兰Fastmicro公司的颗粒沉降扫描仪用于检测超净间环境中的颗粒度及颗粒沉降速率，该设备可以提供秒级颗粒沉降速率连续监测，最小可监测颗粒尺寸为0.5μm，该设备具有连续快速检测、兼容工业和科研环境、具有易于操作、高分辨检测（数量、位置、尺寸）、检测重复性好等特点。
四、原理简介
采用专利技术米氏散射原理检测表面微观颗粒，光源发出的平行光照射待测表面，遇到表面的突起颗粒发生米氏散射，摄像头传感器以一定角度接收到散射信号，根据散射信号可获取关于待测表面颗粒尺寸信息。
五、主要参数
测量速度
秒级连续表面颗粒沉降监测；
数据输出
颗粒增量水平监测；
颗粒数量；
颗粒位置；
颗粒尺寸；
带有粒子标记的图像；
可导出KLARF和Excel文件；
数据通过USB或以太网输出；
操作
操作简单；
测量范围
最小可检测0.5μm大小PSL颗粒
基座直径
50mm
标准晶圆直径
25mm
适用范围
真空和大气环境
产品尺寸
（长*宽*高）
405mm*183mm*209mm
六、应用案例
