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德国海德堡 ULTRA高速掩膜版制作高端光刻机

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ULTRA

半导体級別图形发生器

The Semiconductor Laser Mask Writer

光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统

VPG +大尺寸曝光系统适合用于先进封装,半导体,显示器,彩色滤光片,LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用。

 VPG +系统支持所有工业等级数据化格式,并提供Mura优化功能,呈现完美的CD均匀性和分辨率。

VPG + 1400是我们大的系统,特别针对显示器领域和FPD的应用,例如TFT数组和彩色滤光片以及ITO。 

VPG + 1400具有高精度的设备架构,分辨率低至1.2 nm的差分干涉仪及先进的Mura校正功能。

关于我们

Stella International

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司,共同为客户带来综合应用效能,同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域,Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心,以海德堡原厂伙伴技术支援,提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究,这些年来已服务许多的国内知名大学,研究院所与企业前期研发单位。

总代理 品牌介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备

HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments),创始于1984年,在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括:微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过50几个国家、700个以上销售据点,用于研发、快速原型制作和工业生产系统,是企业研究和发展的伙伴。

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