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Candela 8720 表面缺陷检测系统

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自动晶圆缺陷密度检查系统

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全自动晶圆搬运检查系统

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荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪

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荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测系统

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Candela 8420 表面缺陷检测系统

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R50电阻率测试仪

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四探针电阻测量仪

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NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统

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磁控溅射源/靶枪(1英寸/2英寸/3英寸)

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超高真空镀膜机(磁控溅射、电子束蒸发)

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NPE-4000 (ICPA) 全自动等离子体化学气相沉积系统

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NPE-4000 (M) 等离子体化学气相沉积系统

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NPE-4000 (A) 全自动PECVD等离子体化学气相沉积系统

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NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统

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