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Sentronics全自动晶圆厚度系统、翘曲度测量仪

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TPT HB100 Wire Bonder

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HB05 手动键合机

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荷兰Fastmicro颗粒沉降监测仪

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荷兰Fastmicro表面颗粒度检测系统

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Park NX-Mask

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ULTECH 精确控温快速退火炉

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有掩膜光刻机

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喷涂胶机

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德国海德堡 MLA300自动化无掩膜光刻系统/激光直写光刻机

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德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻

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德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻

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德国海德堡 VPG+200/VPG+400高端光刻机/专业掩膜版制作激光光刻机

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德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机

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德国海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻机

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德国海德堡 ULTRA高速掩膜版制作高端光刻机

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德国海德堡 MLA150无掩膜激光直写光刻机

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【速普仪器】硬质涂层残余应力测试仪FST1000

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速普仪器【SuPro】薄膜应力测试仪FST 5000

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半导体晶圆PL光谱测试系统

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Park NX-Hybrid WLI

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Candela8520表面缺陷检测系统

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能谱科技硅材料碳氧含量专用测定仪

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Candela®6300系列光学表面分析仪系统

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Candela®7100系列缺陷检测和分类系统

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