名称：四探针电阻测量仪
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品牌：KLA 集团旗下品牌 Filmetreics
型号：R50
用途：金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。
优势 :
1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)
2) 100mm Z行程，高精度控制
3)导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用
4)测试点自定义编辑，包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置
5)200mm XY电动平台
6)RSMapper软件灵活易用
7)兼容KLA所有电阻测试探针
应用市场：
1）半导体
2）化合物半导体
3）先进封装
4）平板和VR显示
5）印刷电路
6）穿戴设备
7）导电材料
8）太阳能
