Filmetrics F54-XY系列薄膜厚度测量仪
图案化晶圆的自动膜厚测量
F54-XY拥有先进的反射光谱仪系统，可轻松实现对最大300mm晶圆样品的膜厚测量。
F54-XY-200型膜厚仪可测量最大尺寸200mm的样品，电动XY载台可实现预选点位的自动测量，测量速度最高可达每秒2个视场点。
F54-XYT-300型膜厚仪具备高性能旋转样品台，可实现对300mm晶圆样品的测量。
系统内置极坐标、矩形阵列、直线等多种点位图形，用户也可自定义创建测量点阵，且无最多测量点数的限制。
模式识别功能可满足阵列式或非阵列式晶圆的测量需求。
F54-XY系列不同机型的主要区别在于待测薄膜的厚度和光源波段。一般情况下，待测膜厚越小，则需使用更短波长的光源进行测量（如 F54-XY-200-UV），反之长波光源则可以满足更厚、粗糙或透明度更低的薄膜厚度测量需求。
包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
FILMapper 测量软件
SiO2厚度标准
集成式硅反射标准
真空泵
F54-XY 选配
模式识别软件
自动转塔
高通滤波器转轮
可追溯的 NIST 厚度标准
独特的优点
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
常见的选购配件：
型号规格
*取决于薄膜种类
型号
厚度范围* 波长范围
F54-XY 20nm-50µm 380-1050nm
F54-XY-UV 4nm-35µm 190-1100nm
F54-XY-NIR 100nm-120µm 950-1700nm
F54-XY-EXR 20nm-120µm 380-1700nm
F54-XY-UVX 4nm-120µm 190-1700nm
