Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪
适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统
Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。
不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。
包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
6" 和 200mm 晶圆反射率标准
TS-SiO2-8-8000 厚度标准
真空泵
备用 LAMP-THF60 灯
额外的好处：
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
常见的选购配件
型号规格
*取决于薄膜种类
型号 厚度范围* 波长范围
F60-c 20nm-70µm 380-1050nm
F60-c-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-c-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-c-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-c-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-c-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-c-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
