Filmetrics F60-t系列薄膜厚度测量仪
生产环境的自动测绘
Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .
包含的内容：
集成平台/光谱仪/光源装置（不含平台）
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
真空泵
备用灯
额外的好处：
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
型号规格
*取决于薄膜种类
型号 厚度范围* 波长范围
F60-t 20nm-70µm 380-1050nm
F60-t-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-t-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-t-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-t-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-t-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-t-s980 4µm-1mm 960-1000nm
F60-t-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm
常见的选购配件
