AIXUV（德国）
AIXUV 有限公司是一家Extreme Ultraviolet radiation-XUV（极紫外线辐射）系统光源和部件的供应商。该公司的核心产品是基于压缩气体发光的EUV（极紫外线）灯，这种灯主要用于EUV 平板印刷元件的开发，或作为一种新的分析手段。
XUV（极紫外线辐射）的光谱范围介于X- 光和真空紫外线之间。在此范围内，内核电子的光电效应占主导地位。XUV 光谱范围包括X 软光（用来检测活细胞）和EUV（可能应用于将来的芯片平版印刷）。EUV 同时支持10 纳米级的横向解析度和最高的交叉截面，这使得XUV 特
别适合应用于未来的芯片生产和纳米技术。
我们的EUV 灯附加了环形光束，可用于单独的实验室。我们为客户开发部件，甚至整个全自动系统解决方案。与客户一边沟通一边进行开发是最有效最成功的方法。AIXUV 有限公司的EUV 灯电极寿命超过1000 小时并且适用于多种用途。我们的客户用EUV 灯开发出了用来检测EUV 光源特性的量具，并将EUV 灯应用于EUV 显微镜。此外，我们根据客户的需要开发了以EUV 灯为基础的工具，用于检测EUV 的曝光性和EUV 反射计的特性。
