一英寸高精度探针台KT-Z4019MRL4T 测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台 面最高可升温到最高 400℃。台面四周装有微型 3 轴可移动钨钢探针，特别适合微小 未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械 泵可达＜5Pa 分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头， 保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由 3 轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测 试电学信号

一英寸高精度探针台技术参数

1．  腔体材质 ：304 不锈钢 6061 铝合金 可选

2．  腔体内尺寸： 127mmX57mmX20mm

3．  腔体外尺寸： 150mmX80mmX32mm

4．  腔体重量：不锈钢材质 约 1.5KG       铝合金材质  约 0.5KG

5．  腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

6．  腔体抽气口： KF16 法兰（其余接口规格可转接）

7．  腔体真空测量口： KF16 法兰（其余接口规格可转接）

8．  腔体进气口 ：6mm 快拧 或 6mm 快插

9．  腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷

10． 腔体水冷接口： 6mm 快插

11． 允许正压： ≤0.05MPa

12． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （ 5 分钟）  分子泵≤5E-3Pa（ 30 分钟

        13． 样品台材质：不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块

14． 样品台尺寸： 26x26mm

15． 样品台加热方式 ：电阻加热 液氮制冷

16． 样品台-视窗 距离：11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离 到 6mm）

17． 样品台测温传感器：  PT100 型热电阻

18． 样品台温度：室温到 400℃  室温到-190℃

19． 样品台测温误差： ±0.5℃

20． 样品台升温速率：高温 100℃/min 最大值    低温 7℃/min

21． 温度显示： 7 寸人机界面

22． 温控类型：标准 PID 温控  + 自整定

23． 温度分辨率 ：0.1℃

24． 温控精度： ±0.5℃

25． 温度信号输入类型： PT100 （可选 K   S   B 型热电偶）

26． 温控输出：直流线性电源加热+液氮流速控制器

27． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真 空读数接口

28． 温控器尺寸 ：32cmX170cmX380cm

29． 温控器重量：约 5.6KG

30． 电信号接头：配线转接  BNC 接头    BNC 三同轴接头   SMA  接头  香蕉 插头 线长 1.2 米

31． 电学性能：绝缘电阻  ≥4000MΩ       介质耐压  ≤200V      电流噪声  ≤ 10pA

32． 探针数量：4 探针（可扩展 5 探针）

33． 探针材质：镀金钨针 （其他材质可选）

34． 探针尖： 10μm

35． X 轴移动行程 ：20mm     ±10mm（需手动推动滑台）

36． X 轴控制精度： ≥500μm

37． R 轴移动行程： 120°     ±60°（需手动旋转探针杆）

38． R 轴控制精度： ≥500μm

       39． Z 轴移动行程 ：2mm     ±1mm

   40． Z 轴控制精度： ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）