1.技术参数：
输入电压
AC220V±10%，50Hz
工作电压
DC2400V
最大功率（主机与机械泵）
500W
工作原理
直流溅射
可选靶材
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
真空泵
两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔
φ128×130mm
样品杯
φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整机尺寸（长×宽×高）
424×271×255（mm）
重量（主机）
11 kg
工作环境
温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境
温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体
Air / Ar
保护功能
过流、真空双保护
2.处理效果：（金靶，颗粒尺寸20~50nm）
处理前
处理后
