1.技术参数:
输入电压
AC220V±10%,50Hz
工作电压
DC2400V
最大功率(主机与机械泵)
500W
工作原理
磁控溅射
可选靶材
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
真空泵
两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔
φ128×130mm
样品杯
φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整机尺寸(长×宽×高)
424×271×255(mm)
重量(主机)
11 kg
工作环境
温度 5~40℃,湿度<60%
存储环境
温度-10~60℃,湿度<80%
工作气体
Air / Ar
保护功能
过流、真空双保护
2.效果图:
2.1 陶瓷滤膜铂靶10万倍( SU5500 ):
2.2 喷金样品电镜观测图对比
GVC-2000: 样品形貌真实完整:
其他设备喷金的效果图(热损伤严重):