应用材料范围：
● 硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层
无接触且非破坏的少子寿命成像测试：(μPCD/MDP(QSS),光电导率，电阻率和p/n型检测。
● 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
MDPspot单点少子寿命测试设备产品特性：
● 灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷的检测，具有可视化测试的高分辨率
● 寿命测试范围: 20 ns到几十ms
● 测试能力: 从切割的晶圆片到所有工艺中的样品
● 可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备，正常运行时间> 99%
● 重复性: > 99.5%
● 灵活性: 适用于晶片和晶块，高度可进行调整
● 辅助功能: 基于IP的系统，允许在任何地方进行远程操作和技术支持
技术参数
