应用材料范围：
● 硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层
无接触且非破坏的少子寿命成像测试：(μPCD/MDP(QSS),光电导率，电阻率和p/n型检测。
● 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110
可提供灵活OEM方案，用于材料生长和不同外延层工艺少子寿命测试
MDPlinescan单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备优势介绍：
● 灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的
● 高分辨率
● 测试速度: 1s内完成对156mm的线扫描，与常规生产速度相匹配
● 寿命测试范围: 20ns到几十ms
● 测试能力: 从切割的晶圆到所有工艺中的样品
● 可靠性: 灵活的OEM方案，具有更高的可靠性，使用时间> 99%
● 重复性: > 99.5%
技术参数
