国仪量子低真空钨灯丝扫描电镜SEM3200
扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，助您在显微成像的世界中尽情探索。
产品特点（*为选配件）
特色功能
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
应用案例
产品参数
型号 SEM3200A SEM3200
电子光学系统 电子枪类型 预对中型发叉式钨灯丝电子枪（灯丝电流3档可调，可显示灯丝更换时间）
分辨率 高真空 3 nm @ 30 kV（SE）
4 nm @ 30 kV（BSE）
8 nm @ 3 kV（SE）
*低真空 3 nm @ 30 kV（SE）
放大倍率 1-300,000x（底片倍率）
1-1000,000x（屏幕倍率）
加速电压 0.2 kV～30 kV
探针电流 ≥1.2μA，可实时显示
成像系统 探测器 二次电子探测器（ETD）
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
真空系统 真空模式 高真空 优于5×10-4 Pa
*低真空 5～1000 Pa
控制方式 全自动控制
样品室 摄像头 光学导航
样品仓内监控
样品台配置 三轴自动 *五轴自动
行程 X: 120 mm X: 120 mm
Y: 115 mm Y: 115 mm
Z: 50 mm Z: 50 mm
/ R: 360°
/ T: -10°～ +90°
能谱仪 能谱仪探测器 分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30 mm2，晶体面积≥50 mm2，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能
能谱仪能量分辨率 Mn Ka保证优于129eV
元素分析范围 B5～Cf98
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
特色功能 智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件）
安装要求 房间 长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm
温度 20 ℃～25 ℃
湿度 ≤ 50 %
电气参数 电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA
