国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
产品介绍
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描 电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术(SuperTunnel)、 低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁 性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机 交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快 速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
加速电压 20V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV, SE 1.2nm @ 1 kV, SE
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
产品特点
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
关键参数 分辨率 0.8 nm @15 kV,SE
1.2 nm @1.0 kV,SE
加速电压 20V~30 kV
放大倍率 1~2,500,000x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
样品室 真空系统 全自动控制
摄像头 双摄像头
(光学导航+样品仓内监控)
样品台行程 X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm
T:-10°~+70°,R:360°
探测器
和扩展 标配 镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配 插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓
轨迹球&旋钮控制板
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
