ZLS-23B 是成都仪器厂“正流原理”的氦质谱检漏仪，仪器真空系统采用油扩散泵抽空机组。
主要技术参数：
最小可检漏率：优于2*10-11Pa.m3/s
常用时启动时间：约1h。
反应时间： 不大于3s
质谱室允许工作的最高压强：1*10-2Pa
检漏接口：KF25
仪器的轮廓尺寸： 950*600*570 mm3
仪器的重量： 约65Kg
主要配置：
油扩散泵（成都仪器厂） 1套
前级泵（浙江真空泵） 1台
校准漏孔 （计量证书） 1只
质谱分析室（成都仪器厂） 1套
控制电路（成都仪器厂） 1套
灯丝（成都仪器厂） 50只
喷枪 （成都仪器厂） 1只
仪器的使用条件
境温度：＋5℃～40℃
环境相对湿度：小于80％
供电电源：交流220V，功率约为2Kw （用户配置稳压器最佳）
仪器附近无强电磁场干扰
