模块式氦质谱检漏仪
采取模块化结构设计,易于系统集成，广泛应用于各种自动化装配线。
产品特点
多种系统控制，随心选择
高性价比，让您成本无忧
轻巧而紧凑，节省60%空间为您的产线设计带来无限可能
满你所需 灵动之选；功能丰富 操作便捷
高可靠 更智能
产品参数表：
主要型号及参数
SFJ-16M SFJ-16M+
前级泵
旋片真空泵 涡旋真空泵
氦气模式最小可检漏率（Pa.m3/s) 真空模式
真空模式(ULTRA):5.0x10-13(氦抽速 >5 l/s)
真空模式(FINE):1.0x10-12(氦抽速 2.5 //s)
5.0x10-13
吸枪模式 5.0x10-9 3.0x10-9
最大允许检漏压力（Pa)
(ULTRA):40
(FINE):200
1800
人机界面 5寸彩色液晶触摸屏
检漏口规格
ULTRA:DN25 KF
FINE:DN16 KF
DN25KF
仪器尺寸 400*330*301mm 400*315*310mm
电源 DC24V(±5%)
相应时间（s) ＜1
启动时间(s) ＜95
可检测质量 2,3,4(H2，He-3，He-4)
离子源 2根，铱涂覆氧化钇、自动切换
I/O输入输出接口 RS232/485, LAN
MES接口 标配
运行温度 0~40°C
显示语言 中文/英文
漏率显示
数字、柱状图、曲线图
应用行业：
新能源行业、半导体行业、制冷行业、光伏行业、电力行业、医疗行业、传统真空行业、其他行业
